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一. 静电和静电的危害

静电是一种电能,它存留于物体表面,是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果,是通过电子或离子的转换而形成的。静电现象是电荷在产生和消失过程中产生的电现象的总称。如摩擦起电、人体起电等现象。随着科技发展,静电现象已在静电喷涂、静电纺织、静电分选、静电成像等领域得到广泛的有效应用。但在另一方面,静电的产生在许多领域会带来重大危害和损失。例如在第一个阿波罗载人宇宙飞船中,由于静电放电导致爆炸,使三名宇航员丧生;在火药制造过程中由于静电放电(ESD),造成爆炸伤亡的事故时有发生。

在电子工业中,随着集成度越来越高,集成电路的内绝缘层越来越薄,互连导线宽度与间距越来越小,例如CMOS 器件绝缘层的典型厚度约为0.1μm,其相应耐击穿电压在80-100V;VMOS 器件的绝缘层更薄,击穿电压在30V。而在电子产品制造中以及运输、存储等过程中所产生的静电电压远远超过MOS 器件的击穿电压,往往会使器件产生硬击穿或软击穿(器件局部损伤)现象,使其失效或严重影响产品的可靠性。

※ ESD (Electro static Discharge ) ESD 的中文含意:静电放电;

※因为电子产品生产中静电放电是静电危害最主要的部分,所以ESD 称为静电防护的代名词。

二. 人体对静电的感知

一般静电放电现象是看不到的,人体对静电的感知电压在3KV 以上,当人体感知到静电放电时有些电子器件已经击伤或

暂时性失效。

人体对静电不易感知的原因是:电量小、放电时间短。



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